Profilomètre
Référence : Dektak 150 (VEECO)
Mesure de profil par contact à l’aide d’un stylus balayé sur la surface de l’échantillon. Le profilomètre permet de mesurer des épaisseurs de couche minces allant du nanomètre à quelques microns.
Utilisations possibles :
Mesure de profil par contact à l’aide d’un stylus balayé sur la surface de l’échantillon. Le profilomètre permet de mesurer des épaisseurs de couche minces allant du nanomètre à quelques microns.
Utilisations possibles :
- Mesures de l'épaisseur de couches déposées
- Obtention de profils de surface
- Mesure de rugosité